氣體檢測(cè)流量計(jì)具有極短的響應(yīng)時(shí)間和優(yōu)良的零點(diǎn)穩(wěn)定性。主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子、化工、醫(yī)藥、食品等產(chǎn)品制造過程中氣體流量的檢測(cè)及控制，那么帶大家去了解下氣體檢測(cè)流量計(jì)是怎樣測(cè)量流量的。
只要合理選用電極及襯里材料，氣體檢測(cè)流量計(jì)即可達(dá)到耐腐蝕、耐磨損的要求。氣體檢測(cè)流量計(jì)測(cè)量結(jié)果與液體的壓力、溫度、密度、粘度、電導(dǎo)率（不小于低電導(dǎo)率）等物理參數(shù)基本無關(guān)，氣體檢測(cè)流量計(jì)不受環(huán)境影響，所以測(cè)量精度高、工作穩(wěn)定、可靠。氣體檢測(cè)流量計(jì)采用現(xiàn)代模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換技術(shù)和高性能超大規(guī)模集成芯片，對(duì)信號(hào)進(jìn)行隔離、濾波、放大及數(shù)字處理。氣體檢測(cè)流量計(jì)顯示測(cè)量結(jié)果。
不同于傳統(tǒng)的熱傳感器方式采用了多個(gè)熱傳感器和多個(gè)熱源來測(cè)量氣體的質(zhì)量流量（風(fēng)速式熱質(zhì)量流量原理），氣體檢測(cè)流量計(jì)采用了多個(gè)熱傳感器和一個(gè)微熱源（量熱式熱質(zhì)量流量原理），大大減少了環(huán)境對(duì)測(cè)量的影響。氣體檢測(cè)流量計(jì)的熱源十分微小，幾乎不需要時(shí)間進(jìn)行加熱。
氣體檢測(cè)流量計(jì)采用熱質(zhì)量氣體流量傳感芯片，屬于質(zhì)量流量傳感方式的小流量計(jì)，它是通過氣體流動(dòng)產(chǎn)生的熱場(chǎng)變化來測(cè)量氣體流量，由于不同質(zhì)量的氣體對(duì)熱場(chǎng)的變化具有不同的影響，所以氣體檢測(cè)流量計(jì)所測(cè)的數(shù)據(jù)為質(zhì)量流量。
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